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POLOS系列沖洗甩干機(jī)

簡要描述：

POLOS系列沖洗甩干機(jī)濕法刻蝕又稱為濕化學(xué)刻蝕法。它主要是借助刻蝕劑與待刻材料之間的化學(xué)反應(yīng)將待刻膜層溶解，以達(dá)到刻蝕的目的。濕法刻蝕一般被用于工藝流程前面的晶圓片準(zhǔn)備、清洗等不涉及圖形的環(huán)節(jié)

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OLOS系列沖洗甩干機(jī)

適用工藝(包括但不限于下述濕法制程)

  光刻膠顯影

   SU8厚膠顯影

   顯影后清洗

   光刻機(jī)去除

   刻蝕微刻蝕處理

OLOS系列沖洗甩干機(jī)

系統(tǒng)參數(shù)表

 

POLOS 200 Advanced

POLOS 300 Advanced

POLOS 450 Advanced

   程序段數(shù)：

無限制

無限制

無限制

   操作步數(shù)：

無限制

無限制

無限制

   旋轉(zhuǎn)速度：

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-12,000rpm ±1rpm  steps

0-1500rpm ±1rpm  steps

   旋轉(zhuǎn)精度：

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

± 0.1 rpm

   旋轉(zhuǎn)方向:

順時針、逆時針、交換擺動

順時針，逆時針、交換擺動

順時針，逆時針、交換擺動

   zui大加速度

30,000 rpm/sec

30,000 rpm/sec

≤1500rpm時取決于負(fù)載

   旋轉(zhuǎn)時間：

無限制*, ± 0.1S steps

無限制*, ± 0.1S steps

 

   基片范圍:

260mm 直徑or  6? 方片

360mm 直徑or  8? 方片

460 mm直徑or350mm方片

   腔體直徑：

302 mm

402 mm

502mm

   外形尺寸：

OLOS系列沖洗甩干機(jī)

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